%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/08.30.12.43
%2 sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/08.30.12.43.55
%T Evaluation of CR-N thin films deposited by reactive Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition (PIII&D) and hollow cathode discharge
%D 2017
%A Medeiros, Fabricio Iusuti de,
%A Mello, Carina Barros,
%A Santos, Nazir Monteiro dos,
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress
%@electronicmailaddress carina.mello@inpe.br
%@electronicmailaddress nazir.santos@inpe.br
%B Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência, 38 (CBRAVIC)
%C São José dos Campos, SP
%8 21-24 ago.
%@language en
%3 submissao_69.pdf